Cristin-resultat-ID: 2266541
Sist endret:
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2024

Silicon flow stop frame for encapsulation of CMOS microsensor chips by wet anisotropic etching in KOH

Bidragsytere:
  • A. Dobroliubov
  • Abhijit Kakati
  • Bjørn Torger Stokke
  • Philipp Häfliger og
  • Erik Andrew Johannessen

Tidsskrift

Engineering research express
ISSN 2631-8695
e-ISSN 2631-8695

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2024
Volum: 6
Hefte: 2

Lenker

original online (doi)

Importkilder

Scopus-ID: 2-s2.0-85190413074

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Silicon flow stop frame for encapsulation of CMOS microsensor chips by wet anisotropic etching in KOH

Bidragsytere

A. Dobroliubov

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Abhijit Kakati

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Bjørn Torger Stokke

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for fysikk ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Philipp Dominik Häfliger

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Philipp Häfliger
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for informatikk ved Universitetet i Oslo

Erik Andrew Johannessen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge
1 - 5 av 5