Cristin-resultat-ID: 1022510
Sist endret: 14. mai 2013, 11:06
NVI-rapporteringsår: 2013
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2013

Sensitivity analyses of furnace material properties in the Czochralski crystal growth method for silicon

Bidragsytere:
  • Omidreza Asadi Noghabi
  • Mohammed M'hamdi og
  • Moez Jomâa

Tidsskrift

Measurement Science and Technology
ISSN 0957-0233
e-ISSN 1361-6501
NVI-nivå 1

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2013
Volum: 24
Hefte: 1

Importkilder

Isi-ID: 000312201300018

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Sensitivity analyses of furnace material properties in the Czochralski crystal growth method for silicon

Sammendrag

Reliability of the numerical simulation results strongly depends on the input data, in particular on the thermo-physical properties of the furnace components, e.g. graphite thermal conductivity and steel surface emissivity. Uncertainties are always involved in the measurement of these parameters. A set of global 2D simulations has been carried out in order to investigate the impact of each property on the growth conditions in Czochralski silicon growth furnaces. The results indicate that steel emissivity and felt conductivity have significant impact on the calculated thermal field and energy consumption.

Bidragsytere

Inaktiv cristin-person

OmidReza Asadi Noghabi

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Omidreza Asadi Noghabi
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF Industri ved SINTEF AS
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Mohammed M'hamdi

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Metallproduksjon og prosessering ved SINTEF AS

Moez Jomâa

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Metallproduksjon og prosessering ved SINTEF AS
1 - 3 av 3