Cristin-resultat-ID: 1032929
Sist endret: 7. juni 2013, 10:24
Resultat
Fagartikkel
2013

FP7 piezoVolume – High volume production processes for piezoelectric microsystems

Bidragsytere:
  • Frode Tyholdt

Tidsskrift

Commercial Micro Manufacturing
ISSN 1757-6105

Om resultatet

Fagartikkel
Publiseringsår: 2013
Publisert online: 2013
Trykket: 2013
Volum: 6
Hefte: 2
Sider: 32 - 34

Klassifisering

Vitenskapsdisipliner

Elektronikk

Emneord

Materialvitenskap • Tynnfilm • Piezoelektriske materialer • Ferroelektriske materialer • Funksjonelle materialer

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

FP7 piezoVolume – High volume production processes for piezoelectric microsystems

Bidragsytere

Frode Tyholdt

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1 - 1 av 1