Cristin-resultat-ID: 1074036
Sist endret: 8. desember 2013, 23:44
Resultat
Vitenskapelig foredrag
2013

Conductive hydrophilic and hydrophobic high-temperature silicon direct wafer bonding

Bidragsytere:
  • Kari Schjølberg-Henriksen
  • Lars Geir Whist Tvedt
  • Stein Are Gjelstad
  • Christopher Mørk
  • Sigurd T. Moe
  • Kristin Imenes
  • mfl.

Presentasjon

Navn på arrangementet: WaferBond'13
Sted: Stockholm
Dato fra: 5. desember 2013
Dato til: 6. desember 2013

Arrangør:

Arrangørnavn: Roy Knechtel, Frank Niklaus

Om resultatet

Vitenskapelig foredrag
Publiseringsår: 2013

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Conductive hydrophilic and hydrophobic high-temperature silicon direct wafer bonding

Bidragsytere

Kari Schjølberg-Henriksen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Lars Geir Whist Tvedt

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Stein Are Gjelstad

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Universitetet i Sørøst-Norge

Christopher Mørk

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Universitetet i Sørøst-Norge

Sigurd T. Moe

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1 - 5 av 8 | Neste | Siste »