Cristin-resultat-ID: 1127310
Sist endret: 7. april 2014, 09:41
Resultat
Vitenskapelig foredrag
2014

Dry-film resist technology for versatile TSV fabrication for MEMS, tested on blind dummy TSVs

Bidragsytere:
  • Nicolas Lietaer
  • Anand Summanwar
  • Sara Rund Herum og
  • Leny Nazareno

Presentasjon

Navn på arrangementet: DTIP
Sted: Cannes
Dato fra: 1. april 2014
Dato til: 4. april 2014

Arrangør:

Arrangørnavn: CMP

Om resultatet

Vitenskapelig foredrag
Publiseringsår: 2014

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Dry-film resist technology for versatile TSV fabrication for MEMS, tested on blind dummy TSVs

Bidragsytere

Nicolas Lietaer

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Anand Summanwar

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Sara Rund Herum

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Leny Nazareno

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS
1 - 4 av 4