Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
1273829
Sist endret:
24. september 2015, 21:33
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2007
Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process
Erik Poppe
Niels Peter Østbø
og
Frode Tyholdt
Bok
Bok
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007, Lyon 10-14 June, 2007
ISBN:
1424408423
Utgiver
IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret
Om resultatet
Om resultatet
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2007
Sider: 529 - 532
ISBN:
1424408423
Open Access
Lenker
Lenker
ORIA
Søk i ORIA med 1424408423
Institusjonsarkiv
hdl.handle.net/11250/2430452
Importkilder
Importkilder
SINTEF AS-ID: S4765
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process
Sammendrag
An industrializable process for manufacturing of piezoelectric ultrasound transducer elements is demonstrated. The PZT film is deposited by chemical solution deposition on SOI wafers, and standard MEMS processes are utilized to make cantilevers, bridges and membranes. The PZT film of ~50% of the devices exposed to thermal aging were found to fail at 85°C – 85%RH (relative humidity), while a real-life test of 8·1010 cycles at resonance only gives a slight change in Q-value and resonance frequency.
Vis
fullstendig beskrivelse
Bidragsytere
Bidragsytere
Erik Utne Poppe
Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Erik Poppe
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
Niels Peter Østbø
Forfatter
ved Materialer og nanoteknologi ved SINTEF AS
Frode Tyholdt
Forfatter
ved Materialer og nanoteknologi ved SINTEF AS
1
-
3
av
3
Resultatet er en del av
Resultatet er en del av
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007, Lyon 10-14 June, 2007.
2007, IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers).
Vitenskapelig antologi/Konferanseserie
1
-
1
av
1