Cristin-resultat-ID: 1273829
Sist endret: 24. september 2015, 21:33
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2007

Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process

Bidragsytere:
  • Erik Poppe
  • Niels Peter Østbø og
  • Frode Tyholdt

Bok

Om resultatet

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2007
Sider: 529 - 532
ISBN:
  • 1424408423
Open Access

Importkilder

SINTEF AS-ID: S4765

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Qualification and applications of a piezoelectric MEMS process

Sammendrag

An industrializable process for manufacturing of piezoelectric ultrasound transducer elements is demonstrated. The PZT film is deposited by chemical solution deposition on SOI wafers, and standard MEMS processes are utilized to make cantilevers, bridges and membranes. The PZT film of ~50% of the devices exposed to thermal aging were found to fail at 85°C – 85%RH (relative humidity), while a real-life test of 8·1010 cycles at resonance only gives a slight change in Q-value and resonance frequency.

Bidragsytere

Erik Utne Poppe

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Erik Poppe
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Niels Peter Østbø

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Materialer og nanoteknologi ved SINTEF AS

Frode Tyholdt

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Materialer og nanoteknologi ved SINTEF AS
1 - 3 av 3

Resultatet er en del av Resultatet er en del av

1 - 1 av 1