Cristin-resultat-ID: 1483506
Sist endret: 24. august 2018, 10:03
NVI-rapporteringsår: 2017
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2017

Electrode configurations for layered-plate piezoelectric micro-actuators

Bidragsytere:
  • Cuong Hung Nguyen
  • Mahmoud Ahmed Farghaly Abdelmeguid
  • Muhammad Nadeem Akram
  • Ulrik Hanke og
  • Einar Halvorsen

Tidsskrift

Microelectronic Engineering
ISSN 0167-9317
e-ISSN 1873-5568
NVI-nivå 1

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2017
Volum: 174
Sider: 59 - 63

Importkilder

Scopus-ID: 2-s2.0-85011349835

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Electrode configurations for layered-plate piezoelectric micro-actuators

Sammendrag

This paper investigates piezoelectric micro-actuators with different electrode configurations, i.e., interdigital, spiral and radial electrodes. Using the finite element method, electromechanical performance is evaluated and a comparison of the different micro-actuators is made for equal field strengths. Then, the actuators are considered for tunable lenses and optical parameters are estimated using ray tracing. The interdigital-electrode configuration performs best in both electromechanical and optical analysis.

Bidragsytere

Cuong Hung Nguyen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Mahmoud Ahmed Farghaly Abdelmeguid

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Muhammad Nadeem Akram

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Ulrik Hanke

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Einar Halvorsen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge
1 - 5 av 5