Cristin-resultat-ID: 1902832
Sist endret: 25. april 2021, 11:50
NVI-rapporteringsår: 2021
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2021

On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

Bidragsytere:
  • Runar Plunnecke Dahl-Hansen
  • Frode Tyholdt
  • Jo Gjessing
  • Andreas Vogl
  • Paul Wittendorp
  • Jon Vedum
  • mfl.

Tidsskrift

Journal of microelectromechanical systems
ISSN 1057-7157
e-ISSN 1941-0158
NVI-nivå 1

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2021
Volum: 30
Hefte: 1
Sider: 105 - 115

Importkilder

Scopus-ID: 2-s2.0-85098779436

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

On the effect of water-induced degradation of thin-film piezoelectric microelectromechanical systems

Bidragsytere

Runar Plunnecke Dahl-Hansen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Frode Tyholdt

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Jo Gjessing

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Andreas Vogl

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Paul Wittendorp

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS
1 - 5 av 7 | Neste | Siste »