Cristin-resultat-ID: 366667
Sist endret: 28. august 2013, 04:00
NVI-rapporteringsår: 2007
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2007

Tuning of resist slope with hardbaking parameters and release methods of extra hard photoresist for RF MEMS switches

Bidragsytere:
  • Shimul Chandra Saha
  • Geir uri Jensen
  • Tor A Fjeldly
  • Trond Sæther
  • Erik Poppe og
  • Håkon Sagberg

Tidsskrift

Sensors and Actuators A-Physical
ISSN 0924-4247
e-ISSN 1873-3069
NVI-nivå 1

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2007

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Tuning of resist slope with hardbaking parameters and release methods of extra hard photoresist for RF MEMS switches

Bidragsytere

Shimul Chandra Saha

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Geir Uri Jensen

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Geir uri Jensen
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF AS

Tor A Fjeldly

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Trond Sæther

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Erik Utne Poppe

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Erik Poppe
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1 - 5 av 6 | Neste | Siste »