Cristin-resultat-ID: 828534
Sist endret: 18. januar 2013, 09:24
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2010

Fabrication of silicon-polymer composite acoustic matching layers for high frequency transducers

Bidragsytere:
  • Anh Tuan Thai Nguyen
  • Tung Manh
  • Lars Hoff
  • Tonni Franke Johansen og
  • Geir Uri Jensen

Tidsskrift

IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
ISSN 1051-0117
NVI-nivå 0

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2010
Hefte: 1
Sider: 2064 - 2067

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Fabrication of silicon-polymer composite acoustic matching layers for high frequency transducers

Sammendrag

We have used micromachining methods taken from the MEMS industry to fabricate acoustic matching layers for high frequency transducers. The matching layers are made as silicon-polymer composites, with acoustic impedance determined by the ratio between the two materials. Two different fabrication methods were used, anisotropic wet etch and deep reactiveion etch (DRIE), and the composites were fabricated as both type 1–3 and 2–2 connectivity. These methods were used to fabricate structures suitable for a 15 MHz transducer. The resulting 2–2 composite has silicon width 4.5 µm and polymer width 18 µm, whereas the 1–3 composite has 7 µm wide posts and 9 µm spacing between posts. Both composites have 20% volume fraction of silicon, giving acoustic impedance 7 Mrayl. The acoustic behavior of the stack was investigated by FEM simulations, with emphasis on the composite layer. The simulations of pulse shape and bandwidth show that the stack should perform well as acoustic matching layers for high frequency transducers.

Bidragsytere

Thai Anh Tuan Nguyen

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Anh Tuan Thai Nguyen
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maritime operasjoner ved Universitetet i Sørøst-Norge

Tung Manh

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Lars Hoff

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge

Tonni Franke Johansen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for sirkulasjon og bildediagnostikk ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Geir Uri Jensen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF Digital ved SINTEF AS
1 - 5 av 5