Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
952636
Sist endret:
24. oktober 2012, 17:46
Resultat
Annet
2012
Comsol models of two different microphones membrane with a piezoresistive sensing element
Luca Petricca
Per Ohlckers
og
Dag Thorstein Wang
Bok
Bok
Proceedings of the 23rd MicroMechanics and Microsystems Europe Workshop, September 9-12, Ilmenau, Germany (MME2012)
ISBN:
978-3-938843-71-0
Utgiver
Ilmenau University of Technology
Om resultatet
Om resultatet
Annet
Publiseringsår: 2012
Antall sider: 4
ISBN:
978-3-938843-71-0
Lenker
Lenker
ORIA
Søk i ORIA med 978-3-938843-71-0
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Comsol models of two different microphones membrane with a piezoresistive sensing element
Sammendrag
In this paper we present Finite Element (FEM) models for two different piezoresistive microphones, fabricated using the MultiMEMS process at SensoNor Technologies in Norway with an additional Deep Reactive Ion Etching step done at Sintef. We simulated the membrane displacement and the Eigen frequencies of the systems. Furthermore , we evaluated the stresses in the suspending beams in order to estimate the changes in resistances of the fours piezoresistors. The relative sensitivity of the Wheatstone bridge has also been found to be 0.44 mV/(VPa) for the thin membrane microphone and 1.4 mV/(VPa) for the thick membrane microphone.
Vis
fullstendig beskrivelse
Bidragsytere
Bidragsytere
Luca Petricca
Forfatter
ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge
Per Alfred Øhlckers
Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Per Ohlckers
Forfatter
ved Institutt for mikrosystemer ved Universitetet i Sørøst-Norge
Dag Thorstein Wang
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1
-
3
av
3
Resultatet er en del av
Resultatet er en del av
Proceedings of the 23rd MicroMechanics and Microsystems Europe Workshop, September 9-12, Ilmenau, Germany (MME2012).
Schneider, Andrea. 2012, TUI
Fagbok
1
-
1
av
1