Cristin-resultat-ID: 1159005
Sist endret: 11. mai 2016, 11:37
NVI-rapporteringsår: 2014
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2014

High precision AlGaAsSb ridge-waveguide etching by in situ reflectance monitored ICP-RIE

Bidragsytere:
  • Thanh-Nam Tran
  • Magnus Breivik
  • Saroj Kumar Patra og
  • Bjørn-Ove Fimland

Tidsskrift

Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
ISSN 0277-786X
e-ISSN 1996-756X
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2014
Volum: 9134
Artikkelnummer: 91342E

Lenker

original online (doi)

Importkilder

Scopus-ID: 2-s2.0-84902436712

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

High precision AlGaAsSb ridge-waveguide etching by in situ reflectance monitored ICP-RIE

Bidragsytere

Than-Nam Tran

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Thanh-Nam Tran
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Magnus Breivik

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Saroj Kumar Patra

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Bjørn Ove Myking Fimland

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Bjørn-Ove Fimland
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1 - 4 av 4