Cristin-resultat-ID: 1270961
Sist endret: 24. september 2015, 19:33
Resultat
Vitenskapelig foredrag
2008

Smart Inspection System for High Speed and Multifunctional Testing of MEMS and MOEMS

Bidragsytere:
  • Mats Stefan Carlin
  • Kay Gastinger og
  • Sebastiano Lombardo

Presentasjon

Navn på arrangementet: MEMSWAVE 2008 RF-MST Workshop
Sted: Heraklion, Kreta
Dato fra: 30. juni 2008
Dato til: 30. juni 2008

Arrangør:

Arrangørnavn: European Commision

Om resultatet

Vitenskapelig foredrag
Publiseringsår: 2008

Importkilder

SINTEF AS-ID: S10211

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Smart Inspection System for High Speed and Multifunctional Testing of MEMS and MOEMS

Sammendrag

SMARTIEHS develops a major breakthrough in M(O)EMS testing innovative test concept parallel inspection of 100 M(O)EMS structures on the wafer level high-speed inspection measurement time can be reduced by a factor of 100 multi-functional approach exchangeable probing wafer enable a wide range of test parameters in the same instrument

Bidragsytere

Mats Stefan Carlin

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensor Systems ved SINTEF AS

Kay Gastinger

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF Digital ved SINTEF AS

Sebastiano Lombardo

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF Digital ved SINTEF AS
1 - 3 av 3