Cristin-resultat-ID: 129301
Sist endret: 12. november 2007, 13:46
Resultat
Poster
2007

A Comparative Analysis of Structural Defect Formation in Si+ Implanted and then Plasma Hydrogenated and in H+ Implanted Crystalline Silicon

Bidragsytere:
  • Heidi Nordmark
  • Alexander Ulyashin
  • John C Walmsley og
  • Randi Holmestad

Presentasjon

Navn på arrangementet: 12th Annual Meeting Gettering and Defect Engeneering in Semiconductor Technology (GADEST)
Sted: Erice
Dato fra: 15. oktober 2007
Dato til: 19. oktober 2007

Om resultatet

Poster
Publiseringsår: 2007

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

A Comparative Analysis of Structural Defect Formation in Si+ Implanted and then Plasma Hydrogenated and in H+ Implanted Crystalline Silicon

Bidragsytere

Heidi Nordmark

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for fysikk ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Alexander Ulyashin

  • Tilknyttet:
    Forfatter

John Walmsley

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som John C Walmsley
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for fysikk ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Aktiv cristin-person

Randi Holmestad

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for fysikk ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1 - 4 av 4