Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
1406279
Sist endret:
25. januar 2017, 17:53
NVI-rapporteringsår:
2016
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2016
Plastic Deformation of Thin Si Membranes in Si-Si Direct Bonding
Erik Utne Poppe
Geir Uri Jensen
Sigurd T. Moe
og
Dag Thorstein Wang
Tidsskrift
Tidsskrift
ECS Transactions
ISSN 1938-5862
e-ISSN 1938-6737
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret
Om resultatet
Om resultatet
Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2016
Publisert online: 2016
Trykket: 2016
Volum: 75
Hefte: 9
Sider: 311 - 319
Open Access
Lenker
Lenker
original online (doi)
https://doi.org/10.1149/07509.0311ecst
Institusjonsarkiv
hdl.handle.net/11250/2480825
Importkilder
Importkilder
Scopus-ID: 2-s2.0-84991463647
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Plastic Deformation of Thin Si Membranes in Si-Si Direct Bonding
Sammendrag
The effect of bond anneal in Si-Si direct bonding of laminates With thin membranes suspending closed cavities is studied. For membranes of a certain size and thickness, it is found that the under-pressure in the cavity during bond anneal leads to plastic deformation of the membrane. By controlling the cavity pressure it is found that the Si crystal of the membrane can be kept intact during bond anneal.
Vis
fullstendig beskrivelse
Bidragsytere
Bidragsytere
Erik Utne Poppe
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
Geir Uri Jensen
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
Sigurd T. Moe
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
Dag Thorstein Wang
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1
-
4
av
4