Cristin-resultat-ID: 1660782
Sist endret: 19. januar 2019, 10:07
Resultat
Vitenskapelig foredrag
2018

Breakdown mechanisms and passivation of piezoelectric micro-mirrors

Bidragsytere:
  • Runar Plunnecke Dahl-Hansen
  • Frode Tyholdt
  • Thor Bakke
  • Jo Gjessing
  • Jon Vedum og
  • Thomas Tybell

Presentasjon

Navn på arrangementet: NanoNetwork 2017
Sted: Bergen
Dato fra: 12. juni 2018
Dato til: 14. juni 2018

Arrangør:

Arrangørnavn: Norwegian University of Science and Technology (NTNU)

Om resultatet

Vitenskapelig foredrag
Publiseringsår: 2018

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Breakdown mechanisms and passivation of piezoelectric micro-mirrors

Sammendrag

Lead Zirconate Titanate (Pb(Zrx,Ti1−x )O3) is, due to its high piezoresponse, widely used in piezoelectric Micro Electro Mechanical Systems (piezoMEMS) such as accelerometers, gyroscopes and actuators. However, since PZT is highly sensitive to humidity, devices tend to suffer severe degradation when operated under realistic or harsh conditions. The humidity-related breakdown mechanisms are many and complex, making the need for passivation critical in order to ensure reliable and long-lived piezoMEMS-devices.

Bidragsytere

Runar Plunnecke Dahl-Hansen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Frode Tyholdt

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Thor Bakke

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Jo Gjessing

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Microsystems and Nanotechnology ved SINTEF AS

Jon Vedum

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensor Systems ved SINTEF AS
1 - 5 av 6 | Neste | Siste »