Sammendrag
Dette foredraget presenterer ioneimplantasjonindusert fasetransformasjon i galliumoksid, Ga2O3, fra beta-fasen til gamma-fasen. Den siste tiden har det vært utbredt vitenskaplig interesse i denne transformasjonen, som, basert på tilgjengelige data, ser ut til å være uavhengig av det implanterte speciet. Utover å presentere forsøk som fastslår den termiske stabiliteten til gamma-fasen, opp til 500 eller 700 grader Celsius avhengig av implantasjonsparametre, presenterer vi her også de første luminesensmålingene på slike prøver med høy romlig oppløsning, hovedsaklig fra prøver implantert med germanium, med støttende resultater fra nikkelimplanterte prøver. Både intrinsisk luminesens, fra selvlokaliserte hull og intrinsiske defekter, og ekstrinsisk luminesens fra krom ble studert. Foredraget bidrar til å klargjøre ikke bare strukturen men også egenskapene til fasetransformerte lag i galliumoksid fra ioneimplantasjon.
Vis fullstendig beskrivelse
