Cristin-resultat-ID: 2253973
Sist endret:
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2024

New avenues for residual stress analysis in ultrathin atomic layer deposited free-standing membranes through release of micro-cantilevers

Bidragsytere:
  • Stephanie Burgmann
  • M.J. Lid
  • Håkon Jarand Dugstad Johnsen
  • Nils-Petter Vedvik
  • Bjørn Haugen
  • J. Provine
  • mfl.

Tidsskrift

Heliyon
ISSN 2405-8440
e-ISSN 2405-8440
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret

Om resultatet

Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2024
Volum: 10
Hefte: 4
Open Access

Lenker

original online (doi)

Importkilder

Scopus-ID: 2-s2.0-85185778746

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

New avenues for residual stress analysis in ultrathin atomic layer deposited free-standing membranes through release of micro-cantilevers

Bidragsytere

Stephanie Burgmann

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maskinteknikk og produksjon ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

M.J. Lid

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maskinteknikk og produksjon ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Aktiv cristin-person

Håkon Jarand Dugstad Johnsen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maskinteknikk og produksjon ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Nils-Petter Vedvik

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maskinteknikk og produksjon ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Bjørn Haugen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for maskinteknikk og produksjon ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1 - 5 av 8 | Neste | Siste »