Cristin-resultat-ID: 2275298
Sist endret: 11. juni 2024, 13:48
Resultat
Poster
2024

'Spotting & Bonding' - A novel method for Multi stack, Wafer -level bonding of PiezoMEMS devices

Bidragsytere:
  • Shruti Jain
  • Michal Marek Mielnik og
  • Sigurd T. Moe

Presentasjon

Navn på arrangementet: 10th International Piezoelectric MEMS Workshop
Sted: Aachen
Dato fra: 19. mars 2024
Dato til: 19. juni 2024

Arrangør:

Arrangørnavn: aixACCT Systems

Om resultatet

Poster
Publiseringsår: 2024

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

'Spotting & Bonding' - A novel method for Multi stack, Wafer -level bonding of PiezoMEMS devices

Bidragsytere

Shruti Jain

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Michal Marek Mielnik

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Sigurd T. Moe

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1 - 3 av 3