Cristin-resultat-ID: 2275304
Sist endret: 11. juni 2024, 13:53
Resultat
Poster
2024

'Spotting & Bonding' - A novel method for Multi stack, Wafer -level bonding of PiezoMEMS devices

Bidragsytere:
  • Shruti Jain
  • Michal Marek Mielnik og
  • Sigurd T. Moe

Presentasjon

Navn på arrangementet: Nordic Nanolab User Meeting (NNUM 2024)
Sted: Oslo
Dato fra: 3. juni 2024
Dato til: 4. juni 2024

Arrangør:

Arrangørnavn: NorFab

Om resultatet

Poster
Publiseringsår: 2024

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

'Spotting & Bonding' - A novel method for Multi stack, Wafer -level bonding of PiezoMEMS devices

Bidragsytere

Shruti Jain

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Michal Marek Mielnik

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Sigurd T. Moe

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1 - 3 av 3