Cristin-resultat-ID: 49796
Sist endret: 11. februar 2008, 09:19
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2007

SEM/EBSD investigations of large sized silicon wafers

Bidragsytere:
  • Morten Karlsen
  • Jarle Hjelen og
  • Uwe Schubert

Bok

Scandem 2007 - Proceedings of 58th Annual Meeting of the Nordic Microscopy Society
ISBN:
  • 978-951-22-8829-8

Utgiver

Nordic Microscopy Society

Om resultatet

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2007
Sider: 80 - 81
ISBN:
  • 978-951-22-8829-8

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

SEM/EBSD investigations of large sized silicon wafers

Bidragsytere

Morten Karlsen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Jarle Hjelen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Uwe Schubert

  • Tilknyttet:
    Forfatter
1 - 3 av 3

Resultatet er en del av Resultatet er en del av

Scandem 2007 - Proceedings of 58th Annual Meeting of the Nordic Microscopy Society.

Habermehl-Cwirzen, K.; Eskelinen, E.-L.; Cwirzen, A.. 2007, Vitenskapelig antologi/Konferanseserie
1 - 1 av 1