Cristin-resultat-ID: 50781
Sist endret: 28. august 2013, 04:00
NVI-rapporteringsår: 2007
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2007

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Bidragsytere:
  • Shimul Chandra Saha
  • Trond Sæther
  • Geir uri Jensen
  • Erik Poppe og
  • Håkon Sagberg

Bok

Proceedings of the 33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007)
ISBN:
  • 9-999-99999-9

Utgiver

MNE 2007

Serie

Sensors and Actuators A-Physical
ISSN 0924-4247
e-ISSN 1873-3069
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret

Om resultatet

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2007
Volum: 1
Hefte: 1
Sider: 773 - 774
ISBN:
  • 9-999-99999-9
Open Access

Klassifisering

Fagfelt (NPI)

Fagfelt: IKT
- Fagområde: Realfag og teknologi

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Metallization scheme and release methods for fabrication of RF MEMS switches

Bidragsytere

Shimul Chandra Saha

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Trond Sæther

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Geir Uri Jensen

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Geir uri Jensen
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF AS

Erik Utne Poppe

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Erik Poppe
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Håkon Sagberg

  • Tilknyttet:
    Forfatter
1 - 5 av 5

Resultatet er en del av Resultatet er en del av

Proceedings of the 33rd Micro- and Nano- Engineering conference (MNE 2007).

Boisen, Prof. Anja. 2007, DTUVitenskapelig antologi/Konferanseserie
1 - 1 av 1