Cristin-resultat-ID: 54492
Sist endret: 28. august 2013, 04:00
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2006

Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parameters

Bidragsytere:
  • Shimul Chandra Saha
  • Håkon Sagberg
  • Geir uri Jensen og
  • Trond Sæther

Bok

Proceedings of the 19th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2006
ISBN:
  • 4-9902472-3-X

Utgiver

International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC)

Om resultatet

Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2006
ISBN:
  • 4-9902472-3-X

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parameters

Bidragsytere

Shimul Chandra Saha

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Håkon Sagberg

  • Tilknyttet:
    Forfatter

Geir Uri Jensen

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Geir uri Jensen
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved SINTEF AS

Trond Sæther

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1 - 4 av 4

Resultatet er en del av Resultatet er en del av

1 - 1 av 1