Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
54492
Sist endret:
28. august 2013, 04:00
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2006
Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parameters
Shimul Chandra Saha
Håkon Sagberg
Geir uri Jensen
og
Trond Sæther
Bok
Bok
Proceedings of the 19th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2006
ISBN:
4-9902472-3-X
Utgiver
International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC)
Om resultatet
Om resultatet
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2006
ISBN:
4-9902472-3-X
Lenker
Lenker
ORIA
Søk i ORIA med 4-9902472-3-X
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Tuning of Resist slope for RF MEMS with hard baking parameters
Bidragsytere
Bidragsytere
Shimul Chandra Saha
Forfatter
ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Håkon Sagberg
Forfatter
Geir Uri Jensen
Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Geir uri Jensen
Forfatter
ved SINTEF AS
Trond Sæther
Forfatter
ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
1
-
4
av
4
Resultatet er en del av
Resultatet er en del av
Proceedings of the 19th International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2006.
Matsui, S.. 2006, HD
Vitenskapelig antologi/Konferanseserie
1
-
1
av
1