Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
890086
Sist endret:
14. februar 2013, 08:50
NVI-rapporteringsår:
2013
Resultat
Vitenskapelig artikkel
2013
Impact of diameter fluctuations on thermal stresses during Czochralski silicon growth
Omidreza Asadi Noghabi
Mohammed M'hamdi
og
Moez Jomâa
Tidsskrift
Tidsskrift
Journal of Crystal Growth
ISSN 0022-0248
e-ISSN 1873-5002
NVI-nivå 1
Finn i kanalregisteret
Om resultatet
Om resultatet
Vitenskapelig artikkel
Publiseringsår: 2013
Trykket: 2013
Volum: 362
Sider: 312 - 318
Lenker
Lenker
original online (doi)
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2011.11.025
Importkilder
Importkilder
Scopus-ID: 2-s2.0-84870289350
Isi-ID: 000311647400069
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Impact of diameter fluctuations on thermal stresses during Czochralski silicon growth
Sammendrag
Variation of crystal radius during the growth process is an inevitable feature of Czochralski crystal growth method. Fluctuation in the system i.e. heating power, pulling rate and melt level perturbs the stability of the growth process during Czochralski silicon growth. Highly uneven topographies are likely to act as concentrators for thermally induced stresses and deformations. This effect has been underestimated and neglected in stress studies and the crystal is assumed perfectly cylindrical. A set of 2D simulation were performed for an axisymmetric crystal with isotropic properties. The crystal boundary is perturbed complying a sinusoidal function. The impact of amplitude and frequency of crystal radius fluctuation on stress field inside the crystal has been studied. Simulation result shows that crystal surface undulation affects both thermal field and stress distribution inside the crystal. Sharp angels and profound perturbation found to generate high stresses at the crystal periphery.
Vis
fullstendig beskrivelse
Bidragsytere
Bidragsytere
OmidReza Asadi Noghabi
Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Omidreza Asadi Noghabi
Forfatter
ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Mohammed M'Hamdi
Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Mohammed M'hamdi
Forfatter
ved Metallproduksjon og prosessering ved SINTEF AS
Forfatter
ved Institutt for materialteknologi ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet
Moez Jomâa
Forfatter
ved Metallproduksjon og prosessering ved SINTEF AS
1
-
3
av
3