Info
Meny
English
Logg inn
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Søk etter prosjekter, resultater og personer
Historikk
Cristin-resultat-ID:
914826
Sist endret:
13. mars 2012, 11:54
Resultat
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
2011
Etching Burried Oxide at the Bottom of High Aspect Ratio Structures
Anand Summanwar
og
Nicolas Lietaer
Bok
Bok
MME 2011: Proceedings of the 22nd Micromechanics and microsystems technology Europe workshop: 19-22 June 2011 Tønsberg, Norway
ISBN:
978-82-7860-224-9
Utgiver
Universitetet i Sørøst-Norge/Universitetet i Søraust-Noreg
NVI-nivå 0
Finn i kanalregisteret
Om resultatet
Om resultatet
Vitenskapelig Kapittel/Artikkel/Konferanseartikkel
Publiseringsår: 2011
Sider: 326 - 329
ISBN:
978-82-7860-224-9
Open Access
Lenker
Lenker
ORIA
Søk i ORIA med 978-82-7860-224-9
Institusjonsarkiv
hdl.handle.net/11250/2430445
Beskrivelse
Beskrivelse
Engelsk
Tittel
Etching Burried Oxide at the Bottom of High Aspect Ratio Structures
Sammendrag
Plasma based dry etching is a key process widely used in micro-fabrication today. In this article, we look at the challenges involved in the anisotropic etching of buried SiO2 layers at the bottom of high aspect ratio structures on SOI wafers. We present our etch results that show the limitations of using a process with radio frequency (RF) substrate bias. This is followed by results obtained with a newly developed dielectric etch process based on a pulsed low frequency (LF) bias which makes it possible to etch through even relatively thick buried oxide layers. Finally we present an application in which this newly developed process was used.
Vis
fullstendig beskrivelse
Bidragsytere
Bidragsytere
Anand Summanwar
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
Nicolas Lietaer
Forfatter
ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1
-
2
av
2
Resultatet er en del av
Resultatet er en del av
MME 2011: Proceedings of the 22nd Micromechanics and microsystems technology Europe workshop: 19-22 June 2011 Tønsberg, Norway.
Johannessen, Agne; Øhlckers, Per Alfred; Johannessen, Erik; Azadmehr, Mehdi. 2011, Universitetet i Sørøst-Norge/Universitetet i Søraust-Noreg. USN
Vitenskapelig antologi/Konferanseserie
1
-
1
av
1