Cristin-resultat-ID: 920327
Sist endret: 4. september 2014, 13:38
Resultat
Poster
2011

CMUT ARRAYS WITH POLYSILICON BOTTOM ELECTRODES AND NANO-METER PRECISION CAVITY GAPS

Bidragsytere:
  • Jon Due-Hansen
  • Kjersti Midtbø
  • Erik Poppe
  • Anand Summanwar
  • Geir Uri Jensen
  • Lars Breivik
  • mfl.

Presentasjon

Navn på arrangementet: MicroMechanics Europe
Sted: Tønsberg
Dato fra: 19. juni 2011
Dato til: 22. juni 2011

Om resultatet

Poster
Publiseringsår: 2011

Beskrivelse Beskrivelse

Tittel

CMUT ARRAYS WITH POLYSILICON BOTTOM ELECTRODES AND NANO-METER PRECISION CAVITY GAPS

Bidragsytere

Jon Due-Hansen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Kjersti Midtbø

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Institutt for elektroniske systemer ved Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet

Erik Utne Poppe

Bidragsyterens navn vises på dette resultatet som Erik Poppe
  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Anand Summanwar

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS

Geir Uri Jensen

  • Tilknyttet:
    Forfatter
    ved Smart Sensors and Microsystems ved SINTEF AS
1 - 5 av 7 | Neste | Siste »